超高纯特气多数具有易燃、剧毒、强腐蚀等特性，对这类气体实验室气体管道安装施工会更为注重密封性，因此多数实验室都会采用双层管道工艺，超高纯特气一般都是高科技工业生产中应用的，比如精密半导体电子元器件，比如新能源光电产品制造等，高纯度的SiH4、PH3、B2H6、WF6、NH3等都是，这些纯度高的、重要、危险的气体在实验室应用，需要注意对输送管道的安装。

       超高纯特气实验室气体管道安装施工中，对整体的作业环境洁净度、管道内外管材的洁净度、焊接和安装质量的要求都非常高，为了保证安全性、避免气体泄露会采用双套管工艺，首先在管材的选择要求上，对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.0×10-6及以下的管材应用SS316L-EP管，一般我们说到高纯度气体会先考虑到气体自身的“三度”，气体纯度、干燥度、洁净度，而输送气体的管道必须要保证通过管路输送到设备用点过程中的纯度，所以管路的材质则依使用的需求进行选择。

       其次对于实验室超高纯特气气体管道安装过程中，安装现场先要保证洁净，否则空气污染物可能会存留在管道中导致气体受污染，对于实验室气体管道自身，加工中要注意在洁净环境内进行，同时管道完整性要好，无破损。管道系统的管材和配件以及实验设备相连接要采用采用金属垫片面密封接头，金属垫片采用柔性镍合金垫片，确保密封性，管道焊接禁止采用卡套、手工焊等连接方式，安装完成后注意安全侦测系统设计，对于气体泄露、环境侦测、烟感、火焰、震动等会发出警报。