超高纯特气的实验室管道安装需采用锈钢双层管道工艺，如磷烷，砷烷、乙硼烷、六氟化钨等，这些特殊气体是精密半导体电子元器件、新能源光电产品制造的必不可少的重要原料，但是这些特殊气体也多数具有易燃、剧毒、强腐蚀等特征，所以在使用中要尤其注意避免泄漏。实验室内采用相关特气，管道安装需采用锈钢双层管道工艺，避免出现气体泄露造成产品质量和人身伤亡事故。

       锈钢双层管道工艺在实验室气体管道安装中对各方面作业要求比较高，要求焊接和安装质量合理，要求作业环境内要保证一定的洁净度，要求管道自身内外要保持洁净。超高纯特气的实验室管道安装，首先对管道的加工有严格要求，其中管口的加工是技术的关键点之一，管道切割、预制均在洁净环境进行，同时确保管道切割前表面无有害痕迹、破损。管道开封前应做好管内冲氮的准备工作。其次是双套管加工过程中环境的洁净程度，现场设置三段预制加工洁净区域，建立临时洁净室，要求净化等级不低于9级，确保管件加工的洁净度，进入洁净室的人员必须穿戴洁服、洁净帽、洁净鞋、洁净手套等。

       特种气体要求超纯、超净，而纯度每提升一个 N 以及粒子、金属杂质含量浓度每降低一个数量级都将带来工艺复杂度和难度的显著提升。实验室管道安装采用双套管工艺，是将工艺管线采用1/4管路输送，在其外部再套一个1/2的外管进行防护，管道加工采用水平15°倾斜摆放姿势，不锈钢弹簧填充双层管夹层后用专用弯管装置进行弯管加工，管道与配件及设备连接安装采用金属垫片面密封接头安装，确保密封严密。为了确保整个系统的可靠性与密闭性，除气体管道系统的设计安装保证规范，还应该具备气体安全侦测系统，可以做到气体泄露侦测，震动报警等功能。