一、超高纯供气系统施工的选型与设计。

除简易供气体系外，特气房一样平常自力于主房之外单独建造，在规划中应考虑建筑物的防火、防爆、防火和防爆间距，并对伤害物进行总量控制。传统的供气体系一样平常也都是在一个气体室内设置多个气瓶柜；而对于大容量的特别气体，会根据气体的性子和相容性将气体房分为可燃气体房、腐蚀性气体房、惰性气体房、硅烷房、毒性气体房等。超高纯供气体系施工房间必须透风优秀，超高纯供气体系施工房间的选择和设计通常由设计院来完成。

二、管路体系设计

1.管路体系设计选材

特种气体管道体系一样平常采用316L不锈钢电解抛光管，阀门一样平常采用高纯调压阀，隔膜阀，高细密过滤器，(<0.003微米),VCR接优等。管道元件与气体接触时，外观粗糙度可控制在5uin以内。对CL2等一些腐蚀性强的气体，可采用经特别处理的耐腐蚀强电镀管道。

2.设计了主管路体系；

当确定了好的超高纯供气体系气体房间和用气点后，监控体系一样平常都遵循管线短、弯道少、布置简洁合理、给人简约美观的感觉。输送机的数量和管径的大小一样平常是由机台用气点和流量大小决定的，基本上都是采用小管径输送机(1/4-3/4)，而且备用体系设计较多。鉴于自然气自己的伤害性，许多地方都采用在电缆桥架上铺设管道，对于穿墙或穿夹道的地方、四周有伤害源的地方和经常进行伤害作业的地方，露天管道一样平常都设置在全封闭的桥架上。

假如是低蒸汽压气体(WF6,DCS,BCl3,C5F8,ClF3等)，则必要考虑气缸加热，气缸面板加热，管路伴热等。气源端一样平常都会考虑配置高精度压力变送器、电子秤、温度控制器等，以控制流量。机器台气点上也均配有质量流量计、调压阀。对高毒性、高反应及自燃气体，应采用双管输送。与此同时，管路的设计应采用零死区设计，即整个管路体系由气柜到VMB，由VMB到用气点，点对点，中心不许可有死气死角。如许，VMB在整个管道体系内完成气体分配，中心无三通。终管路还必要好的接地。

3.设计辅助体系。

气箱或控制板在安装和运输过程中替换阀门、接头、过滤器等，或出于其他缘故原由，必要重新进行高压气密性试验和氦检，气体的置换也必要用到高压氮或氦气，因此特气箱必要超高纯供气体系设计为与高压惰性气体氦气或氦气相连。通常选择在特别房间中设置一个或多个惰性气体柜。它的连接情势是：

专用气柜内设有各种气体驱动阀，主管路在送气前必须进行管道吹扫及空气置换，因此还需配套高纯氮气及洁净压缩空气体系。该体系可以使用SUS316L-EP管，CDA可以使用SUS316L-BA管，其直径是根据气柜大小计算出来的。

煤气房和煤气柜也需配备主动喷淋体系，但有些气体如三氟化氯、硅烷遇水反应等，此时也需考虑使用二氧化碳灭火体系。

透风体系和排气体系也是超高纯供气体系施工的紧张组成部分。它的排放体系还按伤害物质的性子分为通俗排放体系(GEX)、酸性排放体系(SEX)、溶剂排放体系(VEX)和氨排放体系(AEX)。镀锌铁皮风管用于通俗排风体系，玻璃钢风管用于酸性排风体系，而溶剂和氨气排风体系一样平常采用不锈钢风管。风箱的排风也根据其特征与上述不同的排风体系相连。特气放空是指煤气专用管道和储气柜内的煤气，经氮气稀释后，由放空管道排入大气或排出体系中，有些剧毒气体或有害气体则排入尾气处理装配，经处理后排入响应的排出体系中。放风体系一样平常采用SUS304不锈钢管，纵贯屋顶，高度约2米，并设置了防雨罩。

三、GMS体系及GDS体系。

气量监测体系(GMS)通过计算机网络，实现了对气量输送体系的实时监测，保证了体系稳固运行。

气敏探测体系(GDS)是工厂生活安全体系(LSS)的紧张组成部分。对探测器要求除精度高、相应快外，还应具有自检测功能。对这两个体系，这里只能简单介绍一下概念。

充分了解气体的特征，从而合理地配置体系，合理地选择管径和管材，如许可以大大地降低整个体系的成本。